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      薄膜與厚膜的區別
      在半導體制造領域,我們經常聽到“薄膜制備技術”,“薄膜區”,“薄膜工藝”等詞匯,那么有厚膜嗎?薄膜與厚膜有什么區別呢?
      來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發布時間: 2024-02-26 | 8264 次瀏覽 | 分享到:

       

      一、什么是薄膜與厚膜?

      薄膜,thin film,一般以nm為單位,是非常薄的膜層。對于厚膜與薄膜,沒有非常嚴格的定義,我將厚度在1000nm(1um)以內的膜層歸為薄膜。薄膜由于其相對較小的厚度和尺寸,通??梢员灰暈槎S形式的物質,只能附著在基材上。

      厚膜,thick film,一般以um為單位。厚度遠大于薄膜,大約在幾微米到幾十微米之間。厚膜不完全需要基材,可獨立制作。

      二、薄膜與厚膜的區別?

      應用區別——薄膜主要應用在半導體,光伏,光學,液晶領域中。而厚膜主要應用在無源電子元件(如電阻器、電容器和電感器),單片機,傳感器,混合集成電路等領域。

      制作工藝區別——常見的薄膜沉積技術包括物理氣相沉積(PVD),化學氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),外延等。厚膜常用絲網印刷,噴涂,旋涂,電鍍等方式制作。

      精度區別——由于薄膜層較薄,通常精度和準確度更高,從而可以更好地控制薄膜的特性。而厚膜元件的精度較低。

      成本區別——厚膜制造工藝簡單,成本較低,適合更廣泛的應用。而薄膜制造需要昂貴的機臺與維護成本。

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