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      勻膠顯影機用機械手
      勻膠顯影機用機械手裝置的制作方法 技術領域: 本實用新型涉及軌道式勻膠/顯影機中晶片的轉移機構,具體為一種勻膠顯影機用機械手裝置。
      來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發布時間: 2020-03-27 | 7063 次瀏覽 | 分享到:
      全自動涂膠顯影機
           

      勻膠/顯影機是線性模塊配置的全自動設備,任意兩個相鄰模塊之間都需要一個晶片的轉移機構,所以晶片的模塊間準確快速傳送就顯得格外重要。為了實現不同模塊之間晶片的平穩轉移和取放,
      一個簡易機械手的開發顯得尤為重要。該機械手應該能完成左右旋轉和上下升降兩個功能,結構簡單而可靠,同時造價較低,并能實現完全的國產化。

      新型內容本實用新型的目的在于提供一種勻膠顯影機用機械手裝置,該機械手結構簡單可靠而又合理,操作維修非常方便,且造價較低。

      本實用新型的技術方案是膠顯影機用機械手裝置,包括主軸、套筒、大齒輪I、大齒輪II、底板、機械手、小齒輪I、支座、小齒輪II、升降電機、旋轉電機;主軸外側設有套筒,小齒輪II由旋轉電機驅動,小齒輪II與大齒輪I通過皮帶傳動,大齒輪I通過連接部件與套筒固定,套筒上端與底板相連,主軸上部穿過底板,大齒輪II與主軸上部連接,支座置于底板上,大齒輪II與主軸上部連接,支座置于底板上,小齒輪I置于支座上,與機械手通過連接部件連接的小齒輪I與大齒輪II之間通過皮帶傳動。

      所述皮帶上下可以設有張緊輪;所述支座內開有與真空管、機械手相通的通道,主軸為中空軸,需要傳送的晶片置于機械手上表面,通過真空吸附裝置、主軸、真空管、支座,從機械手底部將晶片吸附于機械手上表面。

      所述支座為“⊥”形,其內通道為“」”形,小齒輪I與“⊥”形支座的豎向通過軸承配合。

      本實用新型絲杠與升降電機連接,絲杠穿過提升板,與提升板螺紋傳動配合;同時,主軸、導向桿穿過提升板,形成對提升板的三點定位。

      本實用新型位置檢測開關安裝在提升板上,與位于提升板右側的極限位檢測片配合完成機械手上下位的檢測。

      本實用新型旋轉電機和升降電機可以為同步電機。

      本實用新型的優點及有益效果是
      1、本實用新型晶片在機械手上放置的中心點總是在一條直線上運動,且移動距離可調。

      2、本實用新型機械手配有真空吸附,輔助晶片定位,確保晶片在移動中不發生偏移。

      3、本實用新型機械手的上下移動和左右旋轉均由步進馬達實現,靠脈沖個數的給定來實現準確的重復定位精度。

      4、本實用新型可以擁有良好的人機交互界面,對機械手進行監控。

      5、本實用新型結構簡單可靠而又合理,操作維修非常方便,且造價較低。

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