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勻膠顯影蝕刻專(zhuān)用設備生產(chǎn)商



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全自動(dòng)勻膠顯影機
    發(fā)布時(shí)間: 2020-03-24 16:35    

Wafer Size: 2-12英寸(兼容尺寸依據客戶(hù)晶圓尺寸可選)
全自動(dòng)勻膠顯影一體機

設備和各工位全封閉設計,不受外環(huán)境干擾

設備實(shí)現2"-12"晶圓涂膠(SPIN COATING)-顯影模
 (SPIN DEV)-OVEN單元(冷熱板及增粘功能可選)

同片盒內每個(gè)硅片可分別制定工藝運行

自帶暫停/恢復功能,以及故障排除功能,排風(fēng)自動(dòng)調節(可選)

全自動(dòng)勻膠顯影機

全自動(dòng)勻膠顯影

產(chǎn)品特點(diǎn)及基本配置: 

    同一設備實(shí)現2"-12"晶圓
    涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能
    同片盒內每個(gè)硅片可分別制定工藝運行
    設備和各工位全封閉設計,不受外環(huán)境干擾
    可獨立增加層流罩,提升小環(huán)境潔凈度
    干濕分離,電液分隔
    維護省力、簡(jiǎn)便 

      勻膠單元-顯影機-OVEN單元(HMDS+HP+CP)