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      12英寸自動勻膠顯影機-愛姆加電子
          發布時間: 2020-03-24 17:23    

      Pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領域PR工藝涂膠膠顯影

      Wafer Size: 12英寸全自動勻膠顯影一體機

      設備和各工位全封閉設計,不受外環境干擾

      晶圓涂膠(SPIN COATING)-顯影模
            (SPIN DEV)-OVEN單元(冷熱板及增粘功能可選)

      同片盒內每個硅片可分別制定工藝運行

      自帶暫停/恢復功能,以及故障排除功能,排風自動調節(可選)

      12英寸自動勻膠顯影機-愛姆加電子

      自動勻膠顯影機
      使用范圍:
      pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領域PR工藝涂膠膠顯影;
      產能:預估100wafer/H;
      產品種類:晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物產品、邏輯類、存儲類芯片、
      攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED領域。

      · 全自勻膠顯影技術指標:

      · 1、Camber根據用戶要求可選配

      · 2、主軸速度:50-6000rpm

      · 3、THC&FFU等功能

      · 4、EBR&BSR功能

      · 5、PR數量可選配(標配2路)

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