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12英寸自動(dòng)勻膠顯影機-愛(ài)姆加電子
    發(fā)布時(shí)間: 2020-03-24 17:23    

Pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領(lǐng)域PR工藝涂膠膠顯影

Wafer Size: 12英寸全自動(dòng)勻膠顯影一體機

設備和各工位全封閉設計,不受外環(huán)境干擾

晶圓涂膠(SPIN COATING)-顯影模
      (SPIN DEV)-OVEN單元(冷熱板及增粘功能可選)

同片盒內每個(gè)硅片可分別制定工藝運行

自帶暫停/恢復功能,以及故障排除功能,排風(fēng)自動(dòng)調節(可選)

12英寸自動(dòng)勻膠顯影機-愛(ài)姆加電子

自動(dòng)勻膠顯影機
使用范圍:
pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領(lǐng)域PR工藝涂膠膠顯影;
產(chǎn)能:預估100wafer/H;
產(chǎn)品種類(lèi):晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物產(chǎn)品、邏輯類(lèi)、存儲類(lèi)芯片、
攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED領(lǐng)域。

· 全自勻膠顯影技術(shù)指標:

· 1、Camber根據用戶(hù)要求可選配

· 2、主軸速度:50-6000rpm

· 3、THC&FFU等功能

· 4、EBR&BSR功能

· 5、PR數量可選配(標配2路)