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半自動(dòng)涂膠顯影機-愛(ài)姆加電子
    發(fā)布時(shí)間: 2020-03-25 09:51    

晶圓尺寸:2-12英寸可選
功能:手動(dòng)上下取片、其他工藝自動(dòng)完成自動(dòng)滴膠、甩膠、勻膠
光刻機供膠系統:膠路可選配(需前提告知膠粘度)
EBR清洗-BSR清洗功能選配
可選配高效FFU功能
晶片固定方式有:機械夾所持與真空吸附

半自動(dòng)涂膠顯影機-愛(ài)姆加電子

半自動(dòng)涂膠顯影機 

特點(diǎn):
手動(dòng)上下取片
自動(dòng)滴膠、甩膠、勻膠
供膠系統
排風(fēng)系統
可配EBR&BSR功能

適用用圓片尺寸: 2”、3”、4”;以及5x5,10x10,25x25方片

工藝工步:

放置圓片(可輔助定中心)    啟動(dòng)    防濺罩到上位    真空吸片   防塵帽閉合   電機啟動(dòng)    

吹氮氣    低速滴膠    加速、高速勻膠     上刮邊    下刮邊

電機停止    防塵帽開(kāi)啟    防濺帽到下位    去真空、卸片(工藝結束)以上各工步流程為自動(dòng)執行,其中防塵帽、防濺帽、真空具有手動(dòng)功能;

主軸徑向跳動(dòng)≤0.02mm,軸向竄動(dòng)≤0.04mm;

主軸轉速:200~7000轉/分,誤差±20轉/分,連續可調;

主軸加速度(空載):0~3×103rad/秒2,連續可調;

工藝工步時(shí)間:0~999.9秒,設定增量±0.1秒;

滴膠量和速度可調;

功能:晶圓尺寸:2-12英寸可選
功能:手動(dòng)上下取片、其他工藝自動(dòng)完成自動(dòng)滴膠、甩膠、勻膠
光刻機供膠系統:膠路可選配(需前提告知膠粘度)
EBR清洗-BSR清洗功能選配
可選配高效FFU功能
晶片固定方式有:機械夾所持與真空吸附