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全息光柵方形基片涂膠機
    發(fā)布時(shí)間: 2020-03-25 09:58    

方形基片勻膠機,主要用于完成方形基片(全息光柵涂膠機)
大尺寸玻璃片勻膠機、方形基片顯影機等勻膠、顯影、清洗工藝
大尺寸的玻璃以及厚度在20MM以?xún)鹊幕?br/>光刻膠及化學(xué)藥液的供給系統可選

全息光柵方形基片涂膠機

 方形基片勻膠機,型號M+/C450-40,主要用于完成方形基片(全息光柵涂膠機)、大尺寸玻璃片勻膠機、方形基片顯影機等勻膠、顯影、清洗工藝

玻璃片尺寸wafer size: 500×500×50mm(10-50mm);

方便手動(dòng)放置、提取基片-主軸可做升降運動(dòng);

自動(dòng)完成基片進(jìn)行滴膠、布膠、勻膠等工藝;

自動(dòng)送料機構--(可選);

真空系統根據工藝--(可選);
金屬外殼材料,鑲嵌式固定方式。

         工藝涂布效果圖: