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      全息光柵方形基片涂膠機
          發布時間: 2020-03-25 09:58    

      方形基片勻膠機,主要用于完成方形基片(全息光柵涂膠機)
      大尺寸玻璃片勻膠機、方形基片顯影機等勻膠、顯影、清洗工藝
      大尺寸的玻璃以及厚度在20MM以內的基片
      光刻膠及化學藥液的供給系統可選

      全息光柵方形基片涂膠機

       方形基片勻膠機,型號M+/C450-40,主要用于完成方形基片(全息光柵涂膠機)、大尺寸玻璃片勻膠機、方形基片顯影機等勻膠、顯影、清洗工藝

      玻璃片尺寸wafer size: 500×500×50mm(10-50mm);

      方便手動放置、提取基片-主軸可做升降運動;

      自動完成基片進行滴膠、布膠、勻膠等工藝;

      自動送料機構--(可選);

      真空系統根據工藝--(可選);
      金屬外殼材料,鑲嵌式固定方式。

               工藝涂布效果圖:

           

        


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