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      彎月面涂膠機(狹縫式涂布機)
          發布時間: 2020-03-25 10:32    

      彎月牙涂膠基板尺寸:1400 mm×420 mm×200 mm)
      供膠系統及膠液裝置為移動部件
      玻璃及被涂物品為固定不變
      移動速度及高度差均可調


      彎月面涂膠機(狹縫式涂布機)

      用途:主要用于光阻涂膠工藝,原理是借用于液體的漲力原理進行彎月牙涂膠,主要裝置就液刀口溢出的光阻涂布在基板表面。

      一、產品使用范圍:                                          

       ? 彎月牙涂膠基板尺寸:1400 mm×420 mm×200 mm); 

       ? 液體膠刀的有效尺寸為:420mm: 

       二、設備概述:此膠狹縫系統包括供膠系統、精密膠刀、平面度調節機構、膠盒移動等部件組成。       

       ? 供膠系統:伺服電機帶動磁力泵供給膠刀,回流過濾循環供給,膠泵采購進口壓力流量可調的磁力泵。 

       ?  精密膠刀:膠刀出液狹縫可調,可適應100CP-200CP的光阻藥液。同時出液的高度(0.15-0.25mm)通過調整泵的供壓力及狹縫配合來調 

       ? 面度調節機構:膠刀與膠盒的平行度可通過膠盒內的螺釘進行調平,膠刀與連接平面也可調整,膠刀與基板的平面通過機械方式也可調整。 

       ? 利用電磁閥及氣缸來實現膠盒蓋的上下、左右方向的移動。

      三、設備控制設計:          

       ? 供泵系統膠泵為伺服電機,膠泵的壓力、流速通過調節電機的轉速控制。

       ?  膠盒蓋通過氣缸控制+電磁閥(氣缸都裝有上下,左右位置檢測傳感器)。 

       ?  基板移動加有接近開關(主要用于檢測基板是否移過)。


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