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超聲波噴霧涂膠機
    發(fā)布時(shí)間: 2020-03-27 10:18    

噴霧式涂布機主要用于開(kāi)發(fā)研究和各種半導體器件(MEMS)和微機
械,超聲的頻率可調;XY速度-旋轉角度-溫度可調


超聲波噴霧涂膠機

用途:

噴霧式涂布機主要用于開(kāi)發(fā)研究和各種半導體器件(MEMS)和微機械。對應于超厚膜涂層,它是很難通過(guò)常規的旋涂機微粒的化學(xué)溶液,以使通過(guò)的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。

主要特點(diǎn)

噴霧式涂布機主要用于開(kāi)發(fā)研究和各種半導體器件(MEMS)和微機械。對應于超厚膜涂層,

它是很難通過(guò)常規的旋涂機微粒的化學(xué)溶液,以使通過(guò)的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。

被涂覆的部分上,可以形成均勻的膜是困難的,在傳統的離心器,如在基板上的傾斜表面和

梯形槽頂點(diǎn)。我們還支持基板貫通孔用于固定樣品的未經(jīng)使用的真空抽吸。